Silikon gofret parlatma tozu
Gofret, yarı iletken entegre devrelerin üretiminde kullanılan silikon gofreti ifade eder. Silikon gofretler , çeşitli devre elemanı yapılarına işlenebilir. Uygun polisaj tozunun seçilmesi çok önemlidir.
Monokristal silikon gofretlerin öğütülmesi, parlatılması ve inceltilmesi, silikon gofretlerin işlenmesi için önemli işlemlerdir. Gofret kesildikten sonra yüzeyde kesme hasarı ve çizikler olacaktır. O polisaj işi hassas bir polisaj işlemidir.
Genel olarak, 1200 mesh, 1500 mesh ve 2000 mesh beyaz alüminyum oksit tozu , Silikon gofret parlatma tozu olarak öğütme ortamıdır. Parlatma etkisi nispeten iyidir. Silikon gofret yüzeyinde çizik yoktur ve 10-20um yüzey pürüzlülüğüne ulaşabilir. Bu, silikon gofret substrat taşlamasının ayna parlatma etkisi için hazırlık yapar.
Haixu Aşındırıcılardan elde edilen beyaz alüminyum oksit tozu, eşit parçacık boyutu (iyi PSD sonucu), yüksek sertlik ve yüksek saflık özelliklerine sahiptir, bu da taşlama ve cilalama sırasında büyük parçacıkların yüzeye zarar vermesinin dezavantajlarını önler.